日前，筆者在寧波創(chuàng)潤(rùn)新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)寧波創(chuàng)潤(rùn)）廠(chǎng)房?jī)?nèi)，見(jiàn)到了新鮮出爐的全球第一根單錠直徑達(dá)800毫米、重量超過(guò)3噸、高度超過(guò)1.2米的低氧超高純鈦錠。“看它通身銀白，表面質(zhì)感光潔，個(gè)頭也大，多漂亮啊！”創(chuàng)潤(rùn)新材料董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理吳景暉介紹該產(chǎn)品時(shí)，流露出喜愛(ài)與驕傲。
寧波創(chuàng)潤(rùn)是目前中國(guó)唯一（全球僅有4家）的半導(dǎo)體99.999%低氧超高純鈦合格供應(yīng)商，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體級(jí)低氧超高純鈦的國(guó)產(chǎn)替代，打破國(guó)外企業(yè)在這一領(lǐng)域的壟斷局面。近年來(lái)，該公司先后參與或主導(dǎo)了國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)（子課題）、國(guó)家發(fā)改委產(chǎn)業(yè)振興項(xiàng)目、國(guó)家科技中小型企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金等項(xiàng)目，申請(qǐng)專(zhuān)利80多項(xiàng)，獲得授權(quán)專(zhuān)利40余項(xiàng)，每年投入的研發(fā)費(fèi)用占年產(chǎn)值的15%以上，不斷壯大公司綜合實(shí)力。2022年，該公司年產(chǎn)值達(dá)1.5億元，同比增長(zhǎng)50%。
超高純鈦錠含氧量低、純度高，目前已廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路用濺射靶材制備，以及科研、核電、醫(yī)療、軍工、航空航天、新能源等市場(chǎng)。“我們之前穩(wěn)定生產(chǎn)的基本是直徑600毫米、重量在1500千克左右的超高純鈦，也是目前市場(chǎng)上較為流通的產(chǎn)品。”吳景暉說(shuō)。隨著市場(chǎng)對(duì)更大錠型的需求，寧波創(chuàng)潤(rùn)生產(chǎn)的超高純鈦也在不斷挑戰(zhàn)自我，從最初的直徑200毫米，到400毫米、600毫米、800毫米，成功實(shí)現(xiàn)了技術(shù)突破，以尖端核心熔煉技術(shù)，為市場(chǎng)提供技術(shù)儲(chǔ)備。
既然是全球首根3噸高純鈦錠，必然意味著研發(fā)過(guò)程是漫長(zhǎng)且艱難的。“除了需要團(tuán)隊(duì)的長(zhǎng)期專(zhuān)注與把控，絕不能有一點(diǎn)紕漏以外，對(duì)機(jī)器的要求也很高，需要有匹配的功率、精準(zhǔn)的電子束掃描和精確的角度、高要求的冷卻標(biāo)準(zhǔn)，還要達(dá)到整體錠型的光潔。”該公司熔煉工藝技術(shù)總監(jiān)王會(huì)云說(shuō)。為了打破生產(chǎn)機(jī)器被國(guó)外企業(yè)壟斷、購(gòu)買(mǎi)價(jià)格高昂的現(xiàn)狀，寧波創(chuàng)潤(rùn)與北京有色金屬研究總院共同合作，投入4000余萬(wàn)元自主研發(fā)出了2臺(tái)符合更大錠型生產(chǎn)需求的EB爐，并于2022年底完成安裝，今年春節(jié)后就投入到生產(chǎn)準(zhǔn)備中。2月14日，這個(gè)4年前就提出的設(shè)想，經(jīng)過(guò)不斷鋪墊與積累，終于成功生產(chǎn)出了全球首根3噸超高純鈦單錠。
談及大錠型的優(yōu)勢(shì)，吳景暉介紹道，就客戶(hù)需求來(lái)講，越大的錠型給予后續(xù)加工更多空間，整體的成材率會(huì)有很大的補(bǔ)足，產(chǎn)品的品質(zhì)也能得到進(jìn)一步的提高。就企業(yè)自身來(lái)講，開(kāi)爐期間通過(guò)技術(shù)更新熔煉出更大錠型，也可以縮短整體的開(kāi)爐時(shí)間，降低成本。“第一根錠就能達(dá)到這個(gè)水平，簡(jiǎn)直難以想象，這是我們團(tuán)隊(duì)全情投入的最好回報(bào)。下一步，除了量產(chǎn)這一錠型的超高純鈦外，我們也在考慮研發(fā)直徑達(dá)到1米的錠型，更廣泛地服務(wù)不同市場(chǎng)。”吳景暉說(shuō)。
